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SIMS二次離子質譜儀
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Kore SurfaceSeer I是一款高靈敏度、高質量范圍、高分辨率的SIMS二次離子質譜儀(TOF-SIMS),可以用于絕緣、導電表面的成像分析與化學成分分析。SurfaceSeer I是研究表面化學的分析利器,適用于研發和工業質量控制應用。
SIMS二次離子質譜儀主要通過離子源發射離子束濺射樣品表面進行分析。離子束作為一次離子源,經過一次離子光學系統的聚焦和傳輸,到達樣品表面。樣品表面經過濺射,產生二次離子,系統將產生的二次離子提取和聚焦,并將二次離子送入離子飛行系統。在離子飛行系統中,不同種類的二次離子由于質荷比不同,飛行速度也不同,在飛行系統分離,通過檢測這些離子進行相關分析。
靜態SIMS是一種非常靈敏的表面分析技術,能在只消耗樣品單層一小部分的情況下,獲得詳細的質譜圖。被分析的分子來自固體表面前幾層,這對于探討材料關鍵區域例如附著力或催化等性質至關重要。
SurfaceSeer I 使用與 SurfaceSeeer S 相同的 TOF-MS 技術,但配備了高亮度、高空間分辨率的 25kV 液態金屬離子槍(LMIG)作為主要離子源。LMIG 的探頭尺寸≤ 0.5µm,可實現高分析空間分辨率。全自動計算機控制,允許在質譜采集期間掃描離子槍,從而可以收集到化學圖像或圖譜。另外還提供了一個二次電子探測器(SED),用 于調諧初級電子束和 SED 圖像捕獲。
帶有12.7µm重復單元的銅格柵
SurfaceSeer I 儀器特點:
配備25KV液態金屬離子槍(LMIG)作為主要離子源,檢測能力更強,質量分辨率更高;
具備表面成像和深度剖析功能;
提供的SIMS材料譜庫包含上千種材料的質譜數據,可識別未知的化合物和材料;
可同時分析所有元素及有機物,可消除有機物和元素干擾,使譜圖更清晰,檢測限更低,能更有效地分析材料樣品。
專用數據處理軟件允許分析數據和樣品的化學構成信息進行全面的交互提取,其所有儲存的數據都能用于溯源性分析。
表面分析靈敏度高達 1x109 atoms/cm2
SurfaceSeer I 應用領域:
表面涂層和處理
電子元件和半導體
電極與傳感器
潤滑劑
催化劑
粘合劑
薄膜等包裝材料
腐蝕研究
大學教學與科研