NEE-4000（M）電子束蒸發系統：NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔體的配置，樣品臺位于主腔體，二級腔體則用于安置電子束源。兩個腔體之間的門閥可以作為預真空鎖，使得電子束源腔體保持真空的情況下，實現基片通過主腔體放入基片到樣平臺（或夾具）上或從中取出。自動裝/卸載基片可通過第三方的預真空鎖實現。通過PC計算機控制，系統可以提供多電子束源的共蒸發能力，以及對組分或組分梯度進行編程的能力。

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