進口光學鍍膜機主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組及電柜(控制電柜、電子槍電柜)組成，其廣泛應用于微電子、光學成膜、民用裝飾、表面工程等領域。
進口光學鍍膜機工作原理是在高真空狀態下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當的溫度，材料受熱后蒸發成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發源至被蒸發基片距離大，蒸發出來的蒸汽分子向四處直射，碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。
進口光學鍍膜機維護與保養主要包換電子槍安裝與維護、光路的檢修與維護、設備的清洗與保養。
1.定期更換擴散泵油
擴散泵油使用一段時間，約二個月(兩班)，因在長期高溫環境，雖然較高真空時才啟動擴散泵，但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴散泵油起反應，擴散泵油在高溫下也可能產生裂解，使其品質下降，而延長抽氣時間。在我們認為時間延長得太多時，應予更換。
2.真空泵
機械泵油、維持泵油在使用二個月，油質會發生變化。因油可能抽入水分、雜質及其它原因，而使用油粘性變差，真空下降，故需要更換。如為新設備，在使用頭半個月即應更換，因在磨合期，油含磨合鐵粉較多，會加劇磨損。
3.清潔衛生
定期將設備及其周圍環境衛生搞好，常保持設備內外清潔，將設備周圍環境整理有條，有一個好的工作環境，以保安全。
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更新時間：2020-07-15 
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